【日经BP社报道】

感压部使用金属玻璃的压力传感器

感压部

　　长野计器开发出了通过感压部使用金属玻璃实现了小型化及高灵敏度的压力传感器，并投入了使用。由于体积较小，因此可使用于原来无法安装的小型油压系统及机器人。此外还可应用于加工计量控制、油压计量控制以及汽车燃料喷射压控制等。

　　金属玻璃是一种具有像玻璃一样的非晶质构造的材料。由于没有结晶粒界，所以具有比原有结晶质合金更高的弹性及耐腐蚀性。在与玻璃相同的高温下，可轻松变形，因此可利用铸造等手段进行精密再现。

　　在此次的研究中，开发出了适用于压力传感器感压部的金属玻璃及其成型加工方法。在金属玻璃的种类方面，分别面向高灵敏度用途及高耐压用途，设定了锆基型和镍基型。通过利用金属玻璃出色的再现性，实现了比直径为5mm的原产品更小的体积。另外，在加工方法上，还开发出了“适于金属材料的薄膜应变计新蒸镀方法”以及“面向接头部件的新接合方法”。通过利用上述方法，实现了约为原来4倍的高灵敏度，以及为原来2倍以上的高耐压性。

　　该研究作为日本经产省“革新材料产业创出项目”，受日本新能源产业技术综合开发机构（NEDO）委托，通过“金属玻璃成形加工技术项目”实施。在研究过程中，得到了日本东北大学校长井上明久以及青山制作所茨城工厂（总部：茨城县常陆那坷市）等的协助。（记者：松田 千穗）